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海目芯取得调平机构及曝光机专利,便于对载台进行调平:校平机
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金融界2025年7月15日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市海目芯微电子装备科技有限公司取得一项名为“调平机构及曝光机”的专利,授权公告号CN223108258U,申请日期为2024年09月校平机
2025-09-01
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